熱式質(zhì)量流量控制器是一種常用于氣體流量控制的設備，它通過(guò)測量氣體的熱量傳導能力來(lái)實(shí)現對氣體流量的精確控制。利用了熱量傳導定律，即在給定的空間內，當流過(guò)相同截面積的兩側的氣體溫度差固定時(shí)，其熱量傳導速率與流量成正比。
1.提供恒定的加熱功率：控制器內部配備了一個(gè)或多個(gè)加熱絲，通過(guò)電流加熱絲，使其保持恒定的溫度。
2.測量溫度差：在加熱絲的上游和下游位置設置溫度傳感器，分別測量?jì)商幍臏囟?。由于氣體流經(jīng)加熱絲時(shí)會(huì )帶走部分熱量，因此上游和下游位置的溫度存在差異。
3.計算流量：根據測得的溫度差、加熱功率以及氣體的熱導率等參數，計算出流經(jīng)流量控制器的氣體流量。
4.反饋控制：將計算得到的流量與設定值進(jìn)行比較，通過(guò)調節控制閥門(mén)的開(kāi)度，使得實(shí)際流量接近設定值。
主要組成部分構成：
1.流量傳感器：包括加熱絲和溫度傳感器。加熱絲通常由細絲或薄膜形成，具有較高的電阻率和快速響應特性；溫度傳感器可采用熱電阻或熱敏電阻等。
2.控制閥門(mén)：用于調節氣體流量，通常采用電磁閥控制閥門(mén)的開(kāi)度。
3.控制電路：包括測量電路、計算電路和反饋控制電路等，用于實(shí)時(shí)采集和處理溫度、電流信號，并進(jìn)行流量計算和控制。
熱式質(zhì)量流量控制器的工作過(guò)程如下：
1.初始化：在啟動(dòng)前，先對質(zhì)量流量控制器進(jìn)行初始化，包括校準和零點(diǎn)調整等。
2.測量和計算：?jiǎn)?dòng)后，加熱絲開(kāi)始工作，通過(guò)測量上游和下游位置的溫度，計算出實(shí)際流量值。
3.控制閥調節：將實(shí)際流量值與設定值進(jìn)行比較，根據差異調節電磁閥門(mén)的開(kāi)度，使實(shí)際流量逐漸接近設定值。
4.反饋控制：通過(guò)不斷的測量和調節，實(shí)現精確的流量控制。同時(shí)，控制電路會(huì )監測控制閥門(mén)的工作狀態(tài)和溫度變化等，以保證系統的穩定性和可靠性。
適用于以下場(chǎng)景：
1.實(shí)驗室研究：用于氣體進(jìn)樣、流量控制和調節等實(shí)驗需求。
2.半導體制造：用于氣體送入、化學(xué)蝕刻、氣相沉積等過(guò)程的流量控制。
3.環(huán)境監測：用于氣體排放、燃燒過(guò)程的流量控制和檢測。
4.化學(xué)工程：用于化學(xué)反應、氣體供應系統等的流量控制和調節。
5.醫療器械：用于氣體輸送、呼吸機等醫療設備中的流量控制。
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陳工